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邦定台

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产品介绍

      邦定其就是焊接的一种。绑定是指用焊料将靶材与背靶焊接起来。主要有三种的方式:压接、钎焊和导电胶。


1)压接采用压条,一般会采用增加石墨纸、铅或铟皮,来提高接触的良好性。
1)压接:采用压条,一般为了提高接触的良好性,会增加石墨纸、Pb或In皮。
1)钎焊:一般使用软钎料的情况下,要求溅射功率小于20W/㎝2,钎料常用In。
1)导电胶:采用的导电胶要耐高温,厚度在0.02-0.05μm。
可以理解为钎焊或者扩散焊,但要求在真空炉中进行焊接,在需要绑定的两种材料之间加上焊料(一般为低熔点的高纯金属铟),加压加温,终极焊接成型,有效解决变形,脱靶等问题。


靶材绑定


大型邦定台



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带收捆槽邦定台



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高平整度精确控温绑定台



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邦定台工作中



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大邦定台工作中



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使用我司邦定台邦定靶材



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使用我司邦定台邦定靶材



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使用我司绑定台邦定的TFT靶材