稳定性高的邦定台设备|佰顺兴自动化科技邦定台设备信息
2020-02-06 来自: 厦门佰顺兴自动化科技有限公司 浏览次数:523
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稳定性高的邦定台设备,邦定其就是焊接的一种。绑定是指用焊料将靶材与背靶焊接起来。主要有三种的方式:压接、钎焊和导电胶。
1)压接采用压条,一般会采用增加石墨纸、铅或铟皮,来提高接触的良好性。
1)压接:采用压条,一般为了提高接触的良好性,会增加石墨纸、Pb或In皮。
1)钎焊:一般使用软钎料的情况下,要求溅射功率小于20W/㎝2,钎料常用In。
1)导电胶:采用的导电胶要耐高温,厚度在0.02-0.05μm。
可以理解为钎焊或者扩散焊,但要求在真空炉中进行焊接,在需要绑定的两种材料之间加上焊料(一般为低熔点的高纯金属铟),加压加温,最终焊接成型,有效解决变形,脱靶等问题。
一种绑定靶材用平台,包括一平台托板4,其特征在于:所述平台托板(4)固定在平台腿(14)上,平台腿(14)上设有升降装置(2),能够调节平台的水平度;所述平台托板(4)内放置绝缘板(7),平台托板(4)与绝缘板(7)之间铺有保温材料(3);绝缘板(7)内部间隔设有多个穿丝孔(8),穿丝孔(8)内部设置有电热丝(6),电热丝(6)通过导线连接到控制箱(12)上;所述绝缘板(7)上面放置导热板(10),导热板(10)通过固定片(5)与平台托板(4)相连接;所述导热板(10)内部设有散热孔(9),散热孔(9)与气管(11)相连,气管(11)连接到控制箱(12)上;在导热板(10)中还设有测温元件,测温元件的补偿导线与控制箱(12)相连。
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